В настоящее время в большинстве механически функциональных твердых пленок (особенно пленок, используемых для режущих инструментов) в мире используется технология катодно-дугового осаждения. Производительность приложений; Особенно серьезной проблемой является отечественное оборудование для катодного электродугового осаждения. Внедрение технологии магнитной фильтрации на основе этой технологии может решить проблему осаждения частиц на поверхности, но эффективность осаждения составляет всего около 1/10 от исходной, а площадь осаждения невелика, поэтому производственный цикл длинный, стоимость изготовления высока, и он не подходит для массового покрытия. производственные приложения. Поверхность пленки, полученной с помощью технологии магнетронного напыления, гладкая и тонкая, скорость осаждения умеренная, и пленка может быть равномерно нанесена на большую площадь. Однако технология магнетронного распыления также имеет низкую скорость ионизации (обычно 10%), и полученная пленка не так хороша, как пленка, полученная катодной дуговой технологией, с точки зрения твердости, износостойкости и силы сцепления; наносится химически реактивное покрытие. (например, TiN, TiO2), из-за низкой скорости ионизации и плохой реакционной способности металлических частиц необходимо вводить реактивный газ в избытке, вызывая отравление (химическую реакцию) поверхности мишени магнетрона, вызывая серию лавин, таких как резкий снижение скорости испарения. В результате реактивное покрытие магнетронного напыления оказывается нестабильным и неуправляемым.

Следовательно, есть многофункциональные ионно-вакуумные машины для нанесения покрытий в продаже. Благодаря большому количеству экспериментов и промышленных применений проект пришел к следующим выводам:

(1) Разработанная многофункциональная машина для ионного покрытия с несколькими технологиями покрытия успешно работает, а комплексная производительность установленной системы покрытия занимает лидирующие позиции в Китае.

(2) Оборудование может изготавливать алмазоподобную пленку и многослойную пленку из соединения металлического азота (или углерода) с гладкой и плотной поверхностью, гладкой и деликатной поверхностью, а также с отличными характеристиками на большой площади и низкой стоимостью.

(3) Использование специального многослойного градиентного промежуточного переходного слоя и технологии легирования снижает внутреннее напряжение, улучшает силу сцепления пленки с подложкой и способствует росту слоя пленки (толщиной до 6 мм).

(4) Приготовленная DLC-пленка обладает превосходными комплексными свойствами: твердость> 20 ГПа (до 37,25 ГПа), регулируемая толщина (толщиной до 6 мм), сила сцепления пленки/основы> 50 Н (до 100 Н), коэффициент трения <0,2, пленка гладкая и нежная.

(5) Разработанное многослойное износостойкое и термостойкое самосмазывающееся покрытие матрица/Cr/CrN/CrTiAlN/CrTiAlCN/CrTiC/DLC обладает хорошими комплексными свойствами: твердость до 28,7 ГПа, толщина регулируется от 1-4 мм, а сила сцепления пленки / основания превышает 70 Н, а коэффициент трения составляет менее 0,2.

(6) Разработанная износостойкая и антифрикционная пленка была успешно применена к различным высокоточным пресс-формам и прецизионным ключевым компонентам. Результаты применения показывают, что эффект поверхностного укрепления слоя пленки является замечательным, что может значительно улучшить качество продукта и срок службы.

Машина для трибологического покрытия металла из нержавеющей стали

Многодуговое ионное покрытие вводит различные режимы газового разряда в область осаждения из паровой фазы в условиях вакуума. Весь процесс осаждения из паровой фазы осуществляется в плазменном процессе. Его можно наносить не только на поверхность металлических изделий, но и на поверхность неметаллических изделий. Он может быть покрыт металлической пленкой, нитридом титана, карбидом титана, нитридом циркония, нитридом хрома, оксидом титана и другими пленками.